Kovane aluminijske ploče od poluvodiča: 6061‑T652 i 5083‑H112 za vrhunsku vakuumsku opremu

Oprema za proizvodnju poluvodiča nameće izuzetno stroge zahtjeve na metalne podloge. Manja izobličenja pri obradi ili nestabilne performanse umora mogu dovesti do zastoja opreme i gubitaka u proizvodnji. Naše visokokvalitetne kovane aluminijske ploče tvrtke Hongshan Forging, uključujućiKlasa 6061‑T652 i 5083‑H112 / 5083‑O, konstruirani su kako bi zadovoljili stroge zahtjeve poluvodičkih vakuumskih sustava. Postali su pouzdane materijalne opcije za komorne strukture velikih dimenzija.

Konvencionalne valjane aluminijske ploče podliježu očitim deformacijama nakon CNC obrade, posebno kod prevelikih obratka. Kovane aluminijske ploče 6061‑T652 pružaju iznimnu krutost i minimalna izobličenja. Njihova deformacija nakon obrade kontrolirana je unutar ≤0,03 mm po metru, što smanjuje rizik od deformacije za 60% u usporedbi sa standardnim valjanim aluminijskim pločama. Ova značajka čini ih savršeno prikladnima za komponente komora velikog formata, kao što su bočne ploče vakuumske komore dimenzija 1,5 m × 3 m. Nisko zaostalo naprezanje održava dimenzijsku stabilnost tijekom postupaka rezanja, glodanja i montaže.

Za dijelove koji se ciklički kreću unutar vakuumskih okruženja,5083‑H112 kovani aluminijski stalcis vrhunskim dugoročnim učinkom. Njegova čvrstoća na zamor doseže 120 MPa. Poboljšana mehanička svojstva prikladna su za visokofrekventne komponente koje se kreću poput ruku za prijenos pločica unutar poluvodičkih alata. Čak i pod ponovljenim cikličkim opterećenjem, kovana mikrostruktura otporna je na pukotine uzrokovane zamorom i produžuje vijek trajanja komponente.

Ove specijalizirane kovane aluminijske legure služe ključnim strojevima za obradu poluvodiča. Tipične primjene obuhvaćaju tijela komora za jetkanje, okvire opreme za taloženje tankih filmova i vodilice za inspekcijske sustave. Svaka kovana ploča prolazi kroz kompletno metalurško ispitivanje kako bi se jamčila konzistentna unutarnja struktura zrna i uske dimenzijske tolerancije.

Kao vaš pouzdani dobavljač, isporučujemo originalne kovane aluminijske ploče Hongshan, uz podršku za velike narudžbe i prilagođenu obradu. Naš tehnički tim pruža konzultacije o materijalima kako bi odgovarao specifikacijama vaše vakuumske opreme.

Ako nabavljate niskodistorzijskikovane aluminijske ploče za poluvodičeproizvodnih strojeva, slobodno nas kontaktirajte. Zatražite izravne ponude iz tvornice i kompletnu izvoznu dokumentaciju za vaše kritične industrijske projekte.